测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪有几个概念的定义比较混乱(特别是有些研究发展趋势的报告),需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定,资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器,一种是测量面型(元件表面)的激光干涉仪,一种是测量位移(长度)的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲,利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离,完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移(长度)的干涉仪都是利用光干涉现象,但仪器的设计,苏州无应力激光干涉仪方案,苏州无应力激光干涉仪方案、光路结构,苏州无应力激光干涉仪方案、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。苏州无应力激光干涉仪方案
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。 激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。 随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越***,特别是在测量数控机床位置精度方面用途**为***。 激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。江苏球面检测激光干涉仪概念应用领域:光学加工(窗口玻璃检测)。
激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ:位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。
数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结:激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种,其中单频激光干涉仪是通过发射激光束,有固定的波长,折返的激光束将光信号转化为脉冲信号,计算折返的脉冲总数,通过计算得知位移距离,等长度的测量。
光的干涉:光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加,在某些区域始终加强,在另一些区域则始终削弱,形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:只有两列光波的频率相同,位相差恒定,振动方向一致的相干光源,才能产生光的稳定干涉。由两个普通**光源发出的光,不可能具有相同的频率,更不可能存在固定的相差,因此,不能产生稳定干涉现象。两列振幅为A1,、A2,频率为f,初始相位分别为∅1和∅2的光在空间叠加时的光强为:若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180º(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。激光干涉仪:数字化动态分析。
现场高效球面检测干涉仪(数字化相移分析系列)是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外**的组合式激光干涉模块作为**部件,主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念,针对不同的光源、镜头口径、成像方式,不仅在测量过程中拆卸方便,也可适用于多种被测面的测量,**降低检测成本。通过慧利仪器**软件,可对被测对象实时采样和分析,并形成2D和3D图形。应用领域:光学镜片检测、光学组件检测,相机镜头检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,科研和高等教学仪器等众多领域。不同F数的球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等,内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。激光干涉仪:数字化相移分析。苏州无应力激光干涉仪方案
应用领域:计量领域(平面平晶检测),半导体工业(晶片检测),手机工业背板检测。苏州无应力激光干涉仪方案
双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。苏州无应力激光干涉仪方案
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